大家好,小思来为大家解答以上的问题。靶材溅射过程，靶材这个很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧！

1、靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，通过更换不同的靶材（如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。

2、目前，（纯度）溅射靶材按照化学成分不同可分为：1）金属靶材（纯金属铝、钛、铜、钽等）。

3、2）合金靶材（镍铬合金、镍钴合等）。

4、3）陶瓷化合物靶材（氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等）。

5、按开关不同可分为：长靶、方靶、圆靶。

6、按应用领域不同可分为：半导体芯片靶材、平面显示器靶材、太阳能电池靶材、信息存储靶材、具改性靶材、电子器件靶材、其他靶材。

7、金属靶材的铝、钛、铜、钽，在半导体晶圆制造中，200mm( 8寸）及以下晶圆制造通常以铝制程为主，使用的靶材以铝、钛元素为主。

8、300mm( 12寸）晶圆制造，多使用先进的铜互连技术，主要使用铜、钽靶材。

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